產品簡介:
激光微熔覆技術是以高能激光束作為熱源,通過CAD/CAM軟件,結合微細筆直寫和微噴技術;
將各種功能材料(如金、銀、銅、鎳及其合金等)熔覆在各種介質基板表面,如塑料(聚酰亞胺(PI)、聚酯(POLYESTER)、聚碳酸酯(PC))、陶瓷、石英、玻璃等;
使熔覆材料內部、熔覆層與基材界面發生物理化學作用,獲得不同線寬的導線及無源器件;
實現在無掩模下在基板表面直接制備導電層、電阻層和介質層的工藝過程,形成所需功能元器件和微系統。
本技術所得圖案層的線寬/線間距最大分辨率可達到20-7μm(與襯底材料和工藝有關),性能優良,與襯底材料具有良好的結合強度。獨立開發的激光微熔覆工藝、技術及與裝備,加工過程無需掩膜,依托裝備的CAD/CAM功能,制造精度高、質量好、柔性化程度高,適應的熔覆材料和基板材料范圍廣,可實現平面二維圖形和空間三維曲面激光微熔覆加工。
該技術與裝備的突出優點是加工過程完全無需掩膜,直接依托裝備的CAD/CAM功能,制造精度高、質量好、柔性化程度高,適應的熔覆材料和基板材料范圍廣,并可順利實現平面二維圖形和空間三維曲面激光微熔覆加工。
1、無需掩膜;所見及所得;
2、柔性化程度高; 精度高;
3、可實現三維加工制造;
4、快速設計、小批量制造;
5、可直寫打印制備材料范圍:導體材料、電阻材料、介質材料和半導體材料,如金、銀、銅、鎳、玻璃、塑料、光波導等;
6、直寫打印的襯底材料范圍:塑料、陶瓷、石英、玻璃、單晶硅等;
7、制備的電子元器件與襯底結合強度高。
應用領域:
1、電子、微電子(平面、三維電路與器件);
2、精密機械、微電子機械系統(MEMS);
3、印刷線路板(PCB)、手機天線與背板、射頻識別標簽(RFID)、柔性顯示器、傳感器、太陽能電極;
4、生物工程。
激光功率 | 0~50W可選 |
激光波長 | 355、532、1064nm(可選) |
直寫打印最小寬度 | ≦100μm |
直寫打印單層厚度 | 5~15μm(可調) |
直寫打印+激光復合微熔覆最小線寬 | ≦30μm |
直寫打印速率 | ≦20mm/s |
直寫打印材料粘度 | 1~100Pa.s |
設備定位精度 | ±5μm(可選) |
設備重復定位精度 | ±3μm(可選) |
工作臺尺寸 | 400×300×100mm (可選) |
定位方式 | CCD定位,自動補償 |
支持文件 | CAD、Protel、Gerber等 |
三維加工能力 | 具備 |
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PFTE表面的四臂螺旋天線 | LCP表面的天線 | 鈦酸鍶鋇表面四臂螺旋天線 |